烟气水分仪的定义和表示方法，按照国家计量技术规范《常用湿度计量名词术语》（JJF 1012-87）,把液体或固体物质中水的含量定义为水分，对应于英文的Moisture。把气体中水蒸气（水蒸气也常称为水汽或蒸汽）的含量定义为湿度，对应于英文的Humidity。

当气体中水蒸气的含量低于-20℃露点时（在标准大气压下为1020ppmV），工业中习惯上称为微量水分（Trace water），而不叫湿度。

湿度表示方法很多，包括世界气象组织规定的表示方法、工程测量中常用的表示方法等，迄今为止国际上关于湿度及其单位还没有统一的定义。下面将工程测量中常用的一些湿度表示方法列举于下。

＊＊湿度  在一定的温度及压力条件下， 每单位体积混合气体中所含的水蒸气质量，单位以g/m3或mg/m3表示。

体积百分比  水蒸气在混合气体中所占的体积百分比，单位以%V表示在微量情况下采用质量百万分比，单位以ppmV表示。  

质量百分比 水分在液体(或气体中)所占的质量百分比，单位以%W表示，在微量情况下采用质量百万分比，单位以ppmW表示。以前称为重量百分比，单位符号中的“W”(Weight)代表重量，这一习惯表示方法一直沿用下来。

水蒸气分压  是指在湿气体的压力一定时，湿气体中水蒸气的分压力，单位以毫米汞柱(mmHg)或帕斯卡(Pa) 表示。

露点温度   在一个大气压下,气体中的水蒸气含量达到饱和时的温度称为露点温度，简称露点，单位以℃或℉表示。露点温度和饱和水蒸气含量是一一对应的。

相对湿度  是指在一定的温度和压力下，湿空气中水蒸气的摩尔分数与同一温度和压力下饱和水蒸气的摩尔分数之比，单位以%RH表示。有时，也常用一定的温度和压力下湿空气中水蒸气的分压与同一温度和压力下饱和水蒸气的分压之比来表示相对湿度。但须注意，这种表示方法仅适用于理想气体。