高温烟气湿度仪是用于在线监测烟气湿度，即在线监测烟气水分含量的常用设备。烟气在线监测系统常采用高温烟气湿度计作为烟气湿度的监测设备。

烟气水分在线测量的难度主要是由于被测烟气介质温度高（80-150℃），烟气含尘量大（50-200mg/m³），和强腐蚀性（在烟气中）。 SO2与水形成亚硫酸），含水量大（烟气含水量约为体积的5%～15%）。一般的湿度传感器不耐腐蚀，不能用于烟气水分含量的检测。目前，国内外已开发出耐腐蚀湿度传感器技术。

高温烟气湿度计测量烟气水分的方法主要有干湿测氧法、湿度传感器测量法、激光光谱法、红外光度法等。湿烟气和干烟气的含量，并通过氧传感器计算烟气中的水分含量。这种方法在美国和其他国家的CEMS中被广泛使用。湿度传感器测量法是通过耐腐蚀的电阻电容式湿度传感器测量烟气中的水分含量的方法，目前在我国广泛使用。激光光谱是根据半导体激光器发出的特征光谱被水蒸气吸收的原理来确定烟气的湿度；红外光度法也是利用水蒸气向红外光源发射的红外光谱吸收特定谱线的原理，测定烟气中的水分。